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硅片/陶瓷高速减薄机

一、应用领域
适用于各种陶瓷、硅片、晶体玻璃、石英类超薄产品、金属等材料的研磨与减薄;
 
二、工作原理和特点
1、创新是设计的基本理念,本设备在设计时认真分析和比较了国内外同类设备的结构、控
制和功能特点,综合、归纳并采用了众多用户的成功经验和合理建议。着力提高设备的技术含量、运行精度和运行平稳性;
2、采用PLC程序控制器,控制整机的动作,自动化程度高,并由与之触摸屏作界面,显示当前整机状态,实现人机对话,操作一目了然;
3、采用伺服调速及丝杆升降,使整机工作时起动平稳、运转稳定,尤其在低速运转时,克服了上、下研磨盘的窜动、爬行现象;
4、采用陶瓷真空吸盘吸附和基恩士检测仪器来实现自动检测产品厚度;
5、减薄后产品平面度和平行度可达到0.003mm;
6、下盘采用静压回转平台,保证750mm平面度为0.001mm;
7、自带砂轮修整系统;
 
二、 生产参数指标
序号 名称 参数
1 研磨盘规格 Φ750mm
2 研磨工件厚度 0.1-200mm
3 磨轮 φ400*Φ360mm*50
4 工作台最大负荷 2000KG
5 进给速度 0.003-0.8r/min
6 工作台移动 80mm/min
7 磨轮转速 0-3000rpm
8 磨头电机功率 15KW
9 下研磨盘转速 0-50rpm
10 下盘伺服电机 5.5KW
11 永磁吸盘  
12 上盘升降高度 220mm
13 上盘升降伺服电机 2.2KW
14 水渣分离电机 1.5KW
15 砂泵电机 250W
16 设备外形尺寸 1900*1200*2400mm
17 设备重量 3800KG
18 总功率 25.0KW

全国热线

0769-82195455


一、应用领域
适用于各种陶瓷、硅片、晶体玻璃、石英类超薄产品、金属等材料的研磨与减薄;
 
二、工作原理和特点
1、创新是设计的基本理念,本设备在设计时认真分析和比较了国内外同类设备的结构、控
制和功能特点,综合、归纳并采用了众多用户的成功经验和合理建议。着力提高设备的技术含量、运行精度和运行平稳性;
2、采用PLC程序控制器,控制整机的动作,自动化程度高,并由与之触摸屏作界面,显示当前整机状态,实现人机对话,操作一目了然;
3、采用伺服调速及丝杆升降,使整机工作时起动平稳、运转稳定,尤其在低速运转时,克服了上、下研磨盘的窜动、爬行现象;
4、采用陶瓷真空吸盘吸附和基恩士检测仪器来实现自动检测产品厚度;
5、减薄后产品平面度和平行度可达到0.003mm;
6、下盘采用静压回转平台,保证750mm平面度为0.001mm;
7、自带砂轮修整系统;
 
二、 生产参数指标
序号 名称 参数
1 研磨盘规格 Φ750mm
2 研磨工件厚度 0.1-200mm
3 磨轮 φ400*Φ360mm*50
4 工作台最大负荷 2000KG
5 进给速度 0.003-0.8r/min
6 工作台移动 80mm/min
7 磨轮转速 0-3000rpm
8 磨头电机功率 15KW
9 下研磨盘转速 0-50rpm
10 下盘伺服电机 5.5KW
11 永磁吸盘  
12 上盘升降高度 220mm
13 上盘升降伺服电机 2.2KW
14 水渣分离电机 1.5KW
15 砂泵电机 250W
16 设备外形尺寸 1900*1200*2400mm
17 设备重量 3800KG
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